Dans le domaine de pointe de la fabrication de semi-conducteurs, tout petit changement dans l'environnement de production peut avoir un impact décisif sur la qualité du produit.En tant que fabricant professionnel avec des années d'expérience approfondie dans l'industrie des équipements de purification, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. comprend profondément la position centrale du contrôle de la différence de pression du débit d'air dans les salles blanches à semi-conducteurs.Nous analyserons de manière exhaustive les solutions de contrôle de la différence de pression du débit d'air pour les salles blanches à semi-conducteurs, vous aidant à créer un environnement de production stable et efficace.
Contrôle de la différence de pression du débit d'air: la ligne de défense clé dans la production de semi-conducteurs
Comment résister à l'invasion polluante
Le processus de fabrication des puces semi-conducteurs est extrêmement délicat.Ils peuvent causer de graves problèmes tels que des courts-circuits et des circuits ouverts dans les puces.Prenons par exemple le procédé de lithographie des puces de processus avancées.1 micromètre est suffisant pour provoquer des écarts dans le motif de lithographieEn construisant raisonnablement la différence de pression du débit d'air et en maintenant la salle blanche dans un état de pression positive, les polluants externes peuvent être efficacement bloqués,la construction d'une barrière de protection invisible pour la production de puces.
Assurer le fonctionnement stable du processus
La fabrication de semi-conducteurs englobe une variété de procédés complexes tels que la lithographie, la gravure et le dopage.et la propreté- une différence de pression stable du débit d'air peut garantir que les paramètres environnementaux de chaque zone sont toujours maintenus dans la fourchette requise par le procédé,fournissant une garantie solide pour le bon déroulement du processusDans le processus de gravure, si le débit d'air est instable, la distribution du gaz de gravure sera inégale.entraînant des taux de gravure incohérents et affectant gravement la précision de gravure et la qualité du produit des copeaux.
Des solutions de contrôle précis des différences de pression du débit d'air pour créer un espace de production pur
Division des zones scientifiques et réglage précis des différences de pression
- Zones de production essentielles: Les processus clés tels que la lithographie, la gravure et le dopage sont effectués dans ce domaine.Il est recommandé que la pression dans la zone de production centrale soit de 15 à 25 Pa supérieure à celle des zones auxiliaires adjacentes., réduisant ainsi au minimum le risque d'invasion de polluants externes et garantissant que le processus de fabrication des puces ne soit pas perturbé par la pollution.
- Zone de production auxiliaire: zones auxiliaires telles que la zone de stockage temporaire des matériaux et la zone d'entretien des équipements, bien que les exigences en matière de propreté soient légèrement inférieures à celles de la zone de production principale,Il faut toujours maintenir une certaine pression positive.Généralement,il est de 5 à 10 Pa plus élevé que dans les zones telles que les couloirs ordinaires pour empêcher les polluants des couloirs d'entrer dans la zone auxiliaire et de mettre en danger l'environnement de la zone de production principale..
- Passages du personnel et du matériel: Pour les passages où le personnel et les matériaux entrent et sortent de l'atelier, un gradient de différence de pression raisonnable doit être soigneusement réglé pour former un effet de boucle d'air efficace.Lorsque vous entrez dans la zone propre depuis la zone non propre, la pression augmente progressivement à chaque porte passée, agissant comme des couches de points de contrôle, bloquant efficacement l'entrée des polluants dans la salle blanche ainsi que du personnel et des matériaux.
Sélection d'équipements avancés pour un contrôle précis
- Capteurs de pression de haute précision: Les capteurs de pression de haute précision développés indépendamment par Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. ont d'excellentes performances.qui peut capturer avec précision les changements de pression dans chaque zone de l'atelier en temps réel, en veillant à ce que des fluctuations anormales de pression soient détectées immédiatement et en fournissant une base solide pour prendre des contre-mesures en temps opportun.
- Système de contrôle de ventilation intelligent: Ce système est étroitement lié à des capteurs de pression de haute précision, et peut régler automatiquement et avec précision, selon les valeurs de différence de pression prédéfinies, la vitesse du ventilateur et l'ouverture de la vanne.réaliser un contrôle intelligent et raffiné du flux d'airDès qu'il détecte que la pression dans une certaine zone est inférieure à la valeur définie, le système réagit rapidement.augmentation automatique du volume d'alimentation en air ou réduction du volume d'échappement en air pour rétablir rapidement la pression au niveau normal.
Maintenance et gestion complètes pour protéger en permanence la stabilité de la différence de pression
Étalonnage et maintenance réguliers pour assurer les performances de l'équipement
Calibrer les capteurs de pression strictement tous les six mois pour assurer l'exactitude et la fiabilité des données de mesure.effectuer régulièrement une inspection complète des équipements de ventilation, vérifier attentivement si les rouleaux du ventilateur sont usés, si les vannes s'ouvrent et se ferment normalement, etc.,et remplacer les composants vieillissants ou endommagés en temps opportun pour s'assurer que l'équipement est toujours dans les meilleures conditions de fonctionnement.
Conduire une formation professionnelle pour améliorer les capacités du personnel
Effectuer une formation systématique du personnel de l'atelier sur les connaissances en matière de contrôle des différences de pression du débit d'air;leur permettre de comprendre en profondeur l'importance du contrôle des différences de pression et les méthodes de traitement des situations anormalesLorsque survient une alarme de différence de pression, le personnel peut rapidement analyser les causes possibles, telles que des pannes d'équipement et des fuites de conduites.et prendre en temps opportun des contre-mesures efficaces pour assurer la continuité et la stabilité de la production en atelier.
Analyse approfondie des données et optimisation continue des solutions
Construire un système professionnel de surveillance des données sur les différences de pression du débit d'air et mener une analyse approfondie des données de pression accumulées à long terme.les problèmes potentiels peuvent être détectés avec précisionPar exemple, si la pression dans certaines zones fluctue fréquemment, cela peut être dû à des défaillances de l'équipement ou à une distribution de l'air déraisonnable,et puis des ajustements d'optimisation ciblés peuvent être effectués pour améliorer continuellement les solutions de contrôle de la différence de pression du débit d'air.
Avec une profonde accumulation technique et une riche expérience de projet, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. can not only provide high - quality purification equipment but also customize a full - range of airflow pressure difference control solutions and complete post - maintenance services for your semiconductor cleanroomSi vous envisagez de construire une salle blanche de semi-conducteurs ou si vous rencontrez des problèmes connexes lors de l'exploitation d'un atelier existant, n'hésitez pas à nous contacter.Travaillons ensemble pour créer un environnement de production propre de semi-conducteurs de premier plan et contribuer au développement de l'industrie des semi-conducteurs.