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Dans le domaine de pointe de la fabrication de semi-conducteurs, le moindre changement dans l'environnement de production peut avoir un impact décisif sur la qualité des produits. En tant que fabricant professionnel avec des années d'expérience approfondie dans l'industrie des équipements de purification, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. comprend parfaitement la position centrale du contrôle de la différence de pression d'air dans les salles blanches pour semi-conducteurs. Aujourd'hui, nous allons analyser de manière exhaustive les solutions de contrôle de la différence de pression d'air pour les salles blanches de semi-conducteurs, afin de vous aider à créer un environnement de production stable et efficace.

Le processus de fabrication des puces à semi-conducteurs est extrêmement délicat. Une fois que des polluants tels que des particules de poussière et des micro-organismes sont mélangés, ils peuvent causer de graves problèmes tels que des courts-circuits et des circuits ouverts dans les puces. Prenons l'exemple du processus de lithographie des puces de pointe. La largeur de ligne sur les puces a atteint le niveau nanométrique. Une particule de poussière d'un diamètre de seulement 0,1 micromètre suffit à provoquer des déviations dans le motif de lithographie, entraînant la mise au rebut des puces. En construisant raisonnablement la différence de pression d'air et en maintenant la salle blanche dans un état de pression positive, les polluants externes peuvent être efficacement bloqués, construisant une barrière de protection invisible pour la production de puces.

La fabrication de semi-conducteurs englobe une variété de processus complexes tels que la lithographie, la gravure et le dopage. Chaque processus a des exigences différentes en matière de température ambiante, d'humidité et de propreté. Une différence de pression d'air stable peut garantir que les paramètres environnementaux de chaque zone sont toujours maintenus dans la plage requise par le processus, offrant une garantie solide pour le bon déroulement du processus. Dans le processus de gravure, si le flux d'air est instable, la distribution du gaz de gravure sera inégale, ce qui entraînera des taux de gravure incohérents et affectera gravement la précision de la gravure et la qualité des produits des puces.

• Zone de production principale: Les processus clés tels que la lithographie, la gravure et le dopage sont effectués dans cette zone. Ici, les exigences en matière de propreté et de pression positive sont extrêmement élevées. Il est recommandé que la pression dans la zone de production principale soit supérieure de 15 à 25 Pa à celle des zones auxiliaires adjacentes, minimisant ainsi le risque d'invasion de polluants externes et garantissant que le processus de fabrication des puces n'est pas perturbé par la pollution.
• Zone de production auxiliaire: Les zones auxiliaires telles que la zone de stockage temporaire des matériaux et la zone de maintenance des équipements, bien que les exigences de propreté soient légèrement inférieures à celles de la zone de production principale, doivent toujours maintenir une certaine pression positive. Généralement, elle est supérieure de 5 à 10 Pa à celle des zones telles que les couloirs ordinaires pour empêcher les polluants dans les couloirs de pénétrer dans la zone auxiliaire et de nuire à l'environnement de la zone de production principale.
• Passages pour le personnel et les matériaux: Pour les passages où le personnel et les matériaux entrent et sortent de l'atelier, un gradient de différence de pression raisonnable doit être soigneusement défini pour former un effet de sas efficace. Lors de l'entrée dans la zone propre depuis la zone non propre, la pression augmente progressivement à chaque porte franchie, agissant comme des couches de points de contrôle, bloquant efficacement les polluants d'entrer dans la salle blanche avec le personnel et les matériaux.

• Capteurs de pression de haute précision: Les capteurs de pression de haute précision développés indépendamment par Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. ont d'excellentes performances. Leur précision de mesure peut atteindre ±0,1 Pa, ce qui permet de capturer avec précision les variations de pression dans chaque zone de l'atelier en temps réel, garantissant que les fluctuations de pression anormales sont détectées immédiatement et fournissant une base solide pour prendre des contre-mesures en temps opportun.
• Système de contrôle de ventilation intelligent: Ce système est étroitement lié aux capteurs de pression de haute précision. Selon les valeurs de différence de pression prédéfinies, il peut ajuster automatiquement et avec précision la vitesse du ventilateur et l'ouverture des vannes, réalisant un contrôle intelligent et raffiné du flux d'air. Une fois qu'il détecte que la pression dans une certaine zone est inférieure à la valeur définie, le système réagit rapidement, augmentant automatiquement le volume d'alimentation en air ou réduisant le volume d'extraction d'air pour rétablir rapidement la pression au niveau normal.

Étalonner strictement les capteurs de pression tous les six mois pour garantir la précision et la fiabilité des données de mesure. En même temps, effectuer régulièrement une inspection complète des équipements de ventilation, vérifier attentivement si les turbines des ventilateurs sont usées, si les vannes peuvent s'ouvrir et se fermer normalement, etc., et remplacer les composants vieillissants ou endommagés en temps opportun pour garantir que l'équipement est toujours dans les meilleures conditions de fonctionnement.

Mettre en œuvre une formation systématique sur les connaissances du contrôle de la différence de pression d'air pour le personnel de l'atelier, leur permettant de comprendre en profondeur l'importance du contrôle de la différence de pression et les méthodes de traitement des situations anormales. Lorsqu'une alarme de différence de pression se produit, le personnel peut rapidement analyser les causes possibles, telles que les défaillances des équipements et les fuites de canalisations, et prendre des contre-mesures efficaces en temps opportun pour assurer la continuité et la stabilité de la production de l'atelier.

Construire un système professionnel de surveillance des données de différence de pression d'air et effectuer une analyse approfondie des données de pression accumulées à long terme. Grâce à l'analyse des données, les problèmes potentiels peuvent être détectés avec perspicacité. Par exemple, si la pression dans certaines zones fluctue fréquemment, cela peut être dû à des défaillances d'équipement ou à une distribution d'air déraisonnable, et des ajustements d'optimisation ciblés peuvent ensuite être effectués pour améliorer continuellement les solutions de contrôle de la différence de pression d'air.

Avec une profonde accumulation technique et une riche expérience de projet, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. peut non seulement fournir des équipements de purification de haute qualité, mais aussi personnaliser une gamme complète de solutions de contrôle de la différence de pression d'air et des services de post-maintenance complets pour votre salle blanche de semi-conducteurs. Si vous envisagez de construire une salle blanche de semi-conducteurs ou rencontrez des problèmes connexes lors du fonctionnement d'un atelier existant, n'hésitez pas à nous contacter. Travaillons ensemble pour créer un environnement de production propre de semi-conducteurs de pointe et contribuer au développement de l'industrie des semi-conducteurs.