À l'ère du développement technologique rapide, les puces quantiques, en tant que composants de base dans le domaine de la technologie de pointe, ont des exigences extrêmement strictes pour l'environnement de fabrication.Construction de salles blanches à Guangzhou., Ltd., un fabricant professionnel d'équipements de purification avec des années d'expérience dans l'industrie, dévoilera aujourd'hui le processus de construction de salles blanches pour la fabrication de puces quantiques.
1. Planification préalable au projet et analyse des besoins
La première étape dans la construction d'une salle blanche pour les puces quantiques est d'une grande importance.À partir de la lithographie sur puce, gravure, dépôt sur emballage et autres procédés, différentes étapes ont des exigences différentes pour les paramètres environnementaux tels que la température, l'humidité, le nombre de particules de poussière,et contrôle électrostatique. communiquer étroitement avec les entreprises de fabrication de puces. sur la base de leur échelle de production et des routes techniques, déterminer avec précision la zone et la disposition de l'atelier,et planifier les directions de flux du personnel, des matériaux et des produits pour s'assurer que les trois flux ne s'interfèrent pas et évitent la contamination croisée, jetant ainsi une base solide à une production efficace à l'avenir.
2. Détermination du niveau de purification
La fabrication de puces quantiques nécessite généralement un niveau de purification extrêmement élevé, généralement de classe ISO 3 ou même supérieur.1 micromètre par mètre cube d'air doit être strictement contrôlé à des chiffres à un chiffreSelon la précision du processus de fabrication de la puce, déterminer les niveaux de purification de différentes zones telles que la zone de lithographie et la zone d'essai ultra-propre,afin de configurer l'équipement de purification visé, assurant que la puce ne soit pas perturbée par les impuretés de poussière au niveau micro et garantissant le rendement de la puce.
3. Conception de structures architecturales
La structure architecturale de l'atelier doit être adaptée aux exigences de purification.et des matériaux antistatiquesDes plaques d'acier couvertes de couleur peuvent être sélectionnées pour les murs, avec des joints sans couture; l'auto-nivellement époxy peut être utilisé pour le sol, qui est résistant à l'usure, à la corrosion et anti-statique.;le plafond est conçu pour être accessible aux personnes, ce qui est pratique pour l'entretien ultérieur des équipements.Des filtres à particules d'air à haut rendement (HEPA) et des filtres à très faible pénétration d'air (ULPA) sont installés pour assurer un approvisionnement uniforme en air et des effets de purification stables et durables..
4Sélection et installation du système de purification de l'air
Il s'agit du maillon central, composé des unités de climatisation, des conduits d'alimentation et de retour, des filtres, etc.l'humidification, déshumidification et filtration de l'air, régulation précise de la température et de l'humidité avec une très faible plage d'erreur.Les conduits d'air d'alimentation et de retour sont raisonnablement planifiés selon la disposition de l'atelier.Des filtres à tous les niveaux fonctionnent étape par étape.Le filtre principal élimine les particules de poussière., le filtre à moyenne efficacité purifie encore l'air,et les filtres à haute efficacité et ultra haute efficacité fournissent un air presque stérile et sans poussière ultra propre pour la zone de fabrication de puces.
5Contrôle électrostatique et micro-vibration
Les puces quantiques sont extrêmement sensibles à l'électricité statique. Professional electrostatic elimination equipment such as ion fans and electrostatic grounding systems are equipped in the workshop to ensure that the electrostatic potential is within the safe thresholdDans le même temps, compte tenu des micro-vibrations générées par le fonctionnement de l'équipement et le mouvement du personnel, des conceptions absorbant les chocs sont adoptées à partir des fondations du bâtiment, and shock - absorbing pads are also equipped for equipment installation to prevent the micro - vibrations from being transmitted and affecting the accuracy of precision processes such as chip lithography.
6- Soutenir les systèmes d'eau, d'électricité et de gaz
Un approvisionnement stable et fiable en eau, électricité et gaz est la garantie du fonctionnement de l'atelier.pour répondre aux besoins des procédés tels que le nettoyage et la gravure, et la qualité de l'eau atteint la norme de l'eau ultra-pure de qualité électronique.équipés d'une alimentation électrique ininterrompue (UPS) pour faire face à des pannes soudaines de courant et assurer le fonctionnement continu des équipements clésLe système de gaz distribue avec précision des gaz spéciaux tels que l'azote et l'argon. Les conduites sont strictement scellées et purgées pour éviter que la contamination par le gaz n'affecte la qualité de la puce.
7Installation et mise en service des équipements
Les équipements d'épuration et les équipements de production sont installés en séquence, conformément aux spécifications d'installation afin de garantir que l'équipement est à niveau, stable et stable.,simuler les conditions de production, tester de manière exhaustive l'effet de purification, le contrôle de la température et de l'humiditéet équipement de verrouillage, et ajuster à plusieurs reprises les paramètres jusqu'à ce que tous les indicateurs répondent aux exigences de conception, créant un environnement de fabrication parfait pour la production formelle de puces quantiques.
Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., avec son équipe professionnelle et sa technologie de pointe, contrôle chaque détail du processus de construction des salles blanches pour les puces quantiques,aider les entreprises de technologie quantique à atteindre un niveau supérieur et à entreprendre un nouveau parcours de production de masse de puces quantiquesSi vous avez des exigences pour la construction de salles propres, n'hésitez pas à nous contacter.