Dernière affaire de l'entreprise Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Certifications

À l'ère du développement technologique rapide, les puces quantiques, en tant que composants clés dans le domaine de la technologie de pointe, ont des exigences extrêmement strictes en matière d'environnement de fabrication. Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., un fabricant professionnel d'équipements de purification avec des années d'expérience dans l'industrie, révélera aujourd'hui le processus de construction de salles blanches pour la fabrication de puces quantiques.

1. Planification et analyse des exigences préalables au projet

La première étape de la construction d'une salle blanche pour les puces quantiques est d'une grande importance. Il est nécessaire d'avoir une compréhension approfondie de chaque maillon du processus de fabrication des puces. De la lithographie des puces, de la gravure, du dépôt à l'encapsulation et à d'autres processus, les différentes étapes ont des exigences différentes en matière de paramètres environnementaux tels que la température, l'humidité, le nombre de particules de poussière et le contrôle électrostatique. Communiquer étroitement avec les entreprises de fabrication de puces. Sur la base de leur échelle de production et de leurs itinéraires techniques, déterminer avec précision la superficie et l'agencement de l'atelier, et planifier les directions de flux du personnel, des matériaux et des produits pour garantir que les trois flux n'interfèrent pas les uns avec les autres et éviter la contamination croisée, jetant ainsi des bases solides pour une production efficace à l'avenir.

2. Détermination du niveau de purification

La fabrication de puces quantiques nécessite généralement un niveau de purification extrêmement élevé, généralement ISO Classe 3 ou même supérieur. Cela signifie que le nombre de particules de poussière supérieures à 0,1 micromètre par mètre cube d'air doit être strictement contrôlé à des nombres à un seul chiffre. Selon la précision du processus de fabrication des puces, déterminer les niveaux de purification des différentes zones telles que la zone de lithographie et la zone de test ultra-propre, afin de configurer l'équipement de purification de manière ciblée, en veillant à ce que la puce ne soit pas perturbée par les impuretés de la poussière au niveau micro et en garantissant le taux de rendement de la puce.

3. Conception de la structure architecturale

La structure architecturale de l'atelier doit être adaptée aux exigences de purification. Les murs, les planchers et les plafonds doivent être faits de matériaux étanches à l'air, lisses, faciles à nettoyer et antistatiques. Des plaques d'acier revêtues de couleur peuvent être sélectionnées pour les murs, avec des joints sans soudure ; un auto-nivellement époxy peut être utilisé pour le sol, qui est résistant à l'usure, à la corrosion et antistatique ; le plafond est conçu pour être accessible aux personnes, ce qui est pratique pour la maintenance ultérieure des équipements. Des filtres à air à particules à haute efficacité (HEPA) et des filtres à air à très faible pénétration (ULPA) sont installés pour assurer une alimentation en air uniforme et des effets de purification stables et durables.

4. Sélection et installation du système de purification d'air

Il s'agit du maillon central, composé d'unités de climatisation, de gaines d'alimentation et de retour d'air, de filtres, etc. L'unité de climatisation doit avoir de multiples fonctions telles que la réfrigération, le chauffage, l'humidification, la déshumidification et la filtration de l'air, régulant avec précision la température et l'humidité avec une très faible plage d'erreur. Les gaines d'alimentation et de retour d'air sont raisonnablement planifiées en fonction de l'agencement de l'atelier, et des tôles d'acier galvanisé de haute qualité sont utilisées pour assurer l'étanchéité à l'air et empêcher les fuites d'air de provoquer une défaillance de la purification. Les filtres à tous les niveaux fonctionnent étape par étape. Le filtre primaire élimine les grosses particules de poussière, le filtre à moyenne efficacité purifie davantage l'air, et les filtres à haute et très haute efficacité fournissent un air ultra-propre presque stérile et sans poussière pour la zone de fabrication des puces.

5. Contrôle électrostatique et des micro-vibrations

Les puces quantiques sont extrêmement sensibles à l'électricité statique. Une petite décharge électrostatique peut endommager la puce. Des équipements d'élimination électrostatique professionnels tels que des ventilateurs ioniques et des systèmes de mise à la terre électrostatique sont installés dans l'atelier pour garantir que le potentiel électrostatique se situe dans le seuil de sécurité. En même temps, compte tenu des micro-vibrations générées par le fonctionnement des équipements et les mouvements du personnel, des conceptions d'absorption des chocs sont adoptées à partir des fondations du bâtiment, et des coussinets d'absorption des chocs sont également installés pour l'installation des équipements afin d'empêcher les micro-vibrations d'être transmises et d'affecter la précision des processus de précision tels que la lithographie des puces.

6. Soutien des systèmes d'eau, d'électricité et de gaz

Une alimentation stable et fiable en eau, en électricité et en gaz est la garantie du fonctionnement de l'atelier. Le système d'eau pure fournit des sources d'eau de haute pureté pour la fabrication des puces, répondant aux besoins de processus tels que le nettoyage et la gravure, et la qualité de l'eau atteint la norme de l'eau ultrapure de qualité électronique. Le système d'alimentation adopte une alimentation à double circuit, équipée d'une alimentation sans interruption (ASI) pour faire face aux pannes de courant soudaines et assurer le fonctionnement continu des équipements clés. Le système de gaz distribue avec précision des gaz spéciaux tels que l'azote et l'argon. Les pipelines sont strictement scellés et purgés pour empêcher la contamination des gaz d'affecter la qualité des puces.

7. Installation et mise en service des équipements

Les équipements de purification et les équipements de production sont installés en séquence. Ils doivent être installés en stricte conformité avec les spécifications d'installation pour garantir que l'équipement est de niveau, stable et solidement connecté. Après l'installation, une mise en service conjointe est effectuée. Simuler les conditions de production, tester de manière exhaustive l'effet de purification, le contrôle de la température et de l'humidité, et l'imbrication des équipements, et ajuster à plusieurs reprises les paramètres jusqu'à ce que tous les indicateurs répondent aux exigences de conception, créant ainsi un environnement de fabrication parfait pour la production formelle de puces quantiques.

Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., avec son équipe professionnelle et sa technologie de pointe, contrôle chaque détail du processus de construction des salles blanches pour les puces quantiques, aidant les entreprises de technologie quantique à atteindre un niveau supérieur et à se lancer dans un nouveau voyage de production de masse de puces quantiques. Si vous avez des exigences pour la construction de salles blanches, n'hésitez pas à nous contacter. Travaillons ensemble pour créer un avenir technologique !