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Dans les industries haut de gamme telles que la fabrication de semi-conducteurs, la biomédecine et l'électronique de précision, la stabilité environnementale des salles blanches détermine directement le rendement du produit, la cohérence du processus,et la fiabilité de la recherche.

Pour répondre à des exigences de contrôle de plus en plus strictes, leLes unités d'équipement doivent être équipées d'un système d'écoulement de l'air et d'un système de ventilation.L'architecture est devenue la solution dominante pour les salles blanches modernes.température, humidité, propreté et pression, tout en améliorant considérablement l'efficacité énergétique et la flexibilité opérationnelle.Cet article explique systématiquement les technologies de contrôle clés du système MAU + FFU + DCC et illustre comment la coordination multidimensionnelle crée une, un environnement de salle blanche à haute performance.

Le système MAU + FFU + DCC adopte unestratégie hiérarchique de traitement de l'air, où chaque sous-système remplit une fonction spécifique:

• Régulation primaire de la température et de l'humidité
• Filtration en plusieurs étapes G4 + F8
• Fourniture stable d'air extérieur climatisé

• Filtration par HEPA ou ULPA
• Distribution unidirectionnelle du flux d'air
• Prend en charge les environnements ISO de classe 5 à ISO de classe 1

• Réparation à température locale
• Compensation rapide des charges thermiques des équipements
• Assure une distribution uniforme de la température ambiante

Ensemble, cette¢ Pré-traitement → Purification → Contrôle fin"Cette architecture offre une plus grande précision, flexibilité et efficacité énergétique que les systèmes HVAC centralisés traditionnels.

Les fluctuations de température constituent un risque critique dans la fabrication de précision.0.1°Cpeut affecter l'alignement des motifs.

Le système MAU + FFU + DCC permet un contrôle de température à plusieurs niveaux:

MAU Règlement primaire

• Contrôle PID adaptatif des bobines de chauffage et de refroidissement
• Stabilité à la température de l'air frais dans±0,5°C
• Réaction dynamique aux changements de charge

FFU Optimisation du débit d'air

• Mise en page uniforme de la matrice
• Vitesse de face typique:0.3 ∙ 0,5 m/s
• Réduit la stratification thermique et les points chauds locaux

DCC Compensation thermique en temps réel

• Cibles chaleur provenant d'outils de lithographie, de bioréacteurs, d'équipements de gravure
• Ajuste le débit d'eau refroidie instantanément
• Maintient l'uniformité de la température ambiante dans± 0,2°C

Références de cas
Un fabricant de semi-conducteurs de 12 pouces réalisé± 0,1°CLa stabilité de la pièce après la mise en œuvre d'un contrôle coordonné MAU DCC, améliorant le rendement de la lithographie d'environ3%.

L'humidité affecte directement la décharge électrostatique, la corrosion, la croissance microbienne et la stabilité du processus.

MAU Réglage de l'humidité principale

• Autres appareils pour la fabrication de lampes de poche
• Condensation ou déshumidification rotative
• Précision de commande jusqu'àRH à ± 2%

Exemple:Les ateliers de lyophilisation nécessitent généralement30 à 40% de RHpour empêcher l'absorption de l'humidité.

FFU ¢ Répartition uniforme

• Élimine les zones stagnantes et les coins morts
• Prévient l'accumulation locale d'humidité élevée

Coordination de la MAU et du DCC

• L'UMA contrôle l'humidité absolue
• DCC régle la température de la bobine
• Maintenir la température de la surface de la bobine1°2°C au-dessus du point de roséepour éviter la condensation

La propreté reste l'indicateur de performance de base de toute salle blanche.

Pré-filtration des MAU

• Filtre primaire G4
• Filtre à rendement moyen F8
• Élimine les gros particules et protège la durée de vie des FFU

Filtration des bornes du FFU

• HEPA: ≥ 99,97% @ 0,3 μm
• ULPA: ≥ 99,999% @ 0,12 μm
• Prend en charge la classe ISO 5 et supérieure

Organisation du débit d'air

• Flux unidirectionnel vertical
• Couverture FFU:60 à 100%
• Crée un effet de piston stable, poussant les contaminants vers les grilles d'air de retour

Référence de performance
À00,45 m/sla vitesse du débit d'air, la concentration de particules ≥ 0,5 μm peut être réduite à
Particules à faible teneur en dioxyde de carbone.

La pression positive assure que les zones propres restent protégées de la contamination extérieure.

Contrôle du volume d'air frais (MAU)

• Les capteurs de pression différentielle surveillent la pression ambiante
• Différence de pression typique:10 ̊30 Pa

Zoning hiérarchique

• Entre les zones de classe 5 et de classe 7 ISO
• Gradient de pression:5 ‰ 10 Pa

Protection en cas d'urgence

• Alarmes automatiques déclenchées par chute de pression
• Les ventilateurs de secours s' activent immédiatement.
• Prévient la contamination dans des conditions anormales

Les systèmes modernes MAU + FFU + DCC intègrent une automatisation intelligente pour une précision et une efficacité accrues.

• Surveillance en temps réel de plus de 30 paramètres
• Analyse des tendances et stockage des données historiques
• Visualisation centralisée du système

Lorsqu'un outil à forte charge est mis en marche, le système:

• Augmente la capacité de la bobine de refroidissement
• Augmente la sortie DCC
• Rétablit la stabilité environnementale dans10 secondes

Surveillance continue de:

• Courant du moteur FFU
• Chute de pression du filtre
• Performance de la bobine DCC

Permet une détection précoce de:

• Vieillissement du moteur
• Obstruction du filtre
• Résistance anormale au débit d'air

L'optimisation basée sur l'IA régule:

• Quantité d'exploitation des FFU
• Proportion d'air frais
• Matching de la charge de température et d'humidité

Il en résulte:Économies d'énergie de 20 à 30%, en particulier dans les grandes usines de semi-conducteurs.

• - Je ne sais pas.Test de l'onduleur, résistance du filtre, réponse T/H
• - Je ne sais pas.Uniformité du débit d'air (± 10%), test de fuite HEPA, bruit ≤ 65 dB
• Le DCC:précision du débit d'eau (± 5%), vérification de l'échange thermique

• Conditions extrêmes simulées
• Compteurs de particules de haute précision (0,1 μm)
• Plus de 50 points de surveillance avec enregistrement de 10 secondes

• Commande variable de la FFU pendant le fonctionnement à charge partielle
• Cycles typiques de remplacement des filtres:
  • Primo: 1 à 3 mois
  • Moyenne: 6 à 12 mois
  • HEPA: 2 à 3 ans

Le...Le montant de la subvention est calculé en fonction de l'évolution de l'activité.Le système de salle blanche représente une transition de la conformité de base au contrôle environnemental intelligent et élancé.

Grâce à une gestion coordonnée de la température, de l'humidité, de la propreté,Cette architecture offre la stabilité et la précision requises pour la fabrication de semi-conducteurs., biotechnologie et autres applications haut de gamme.

En tant que fournisseur professionnel de solutions d'ingénierie de salles blanches, nous offrons:

• Conception du système
• Sélection de l'équipement
• Intégration de contrôle intelligent
• Mise en service et optimisation
• Assistance complète du cycle de vie

Si vous planifiez ou améliorez une salle blanche de haute précision, notre équipe d'ingénieurs est prête à vous aider à atteindredes performances de contrôle environnemental de classe mondiale.