Introduction aux salles blanches pour semi-conducteurs
Une salle blanche de semi-conducteurs est un environnement contrôlé conçu pour minimiser la contamination lors de la fabrication de micro-puces, de circuits intégrés (CI) et d'autres composants électroniques.Même des particules microscopiques peuvent perturber la production, rendant les salles blanches essentielles pour une fabrication à haut rendement.
Les principales caractéristiques sont les suivantes:
Nombre de particules extrêmement faible(Classe ISO 1 à 9)
Contrôle strict de la température/humidité(avec une précision de ± 0,1°C)
Filtrage de l'air avancé(filtres HEPA/ULPA)
Protection contre les décharges électrostatiques (ESD)
Ces installations respectent les normes mondiales commePour les appareils électroniques(classification des salles blanches) etLe nombre d'équipements utilisés est le suivant:(directives de sécurité des équipements).
Normes de classification des salles blanches
ISO 14644-1 Classes des salles blanches
Les salles blanches de semi-conducteurs fonctionnent généralement àClasse ISO 1 à 5, qui signifie:
| Classe ISO | Particules maximales (≥ 0,1 μm/m3) | Cas d'utilisation courante |
| ISO 1 | 10 | Litographie EUV de pointe |
| ISO 3 | 1,000 | Production de plaquettes NAND 3D |
| ISO 5 | 100,000 | Fabrication de puces anciennes |
Normes spécifiques au secteur
Normes SEMI: définir la compatibilité des équipements (par exemple, SEMI F47 pour l'immunité contre la baisse de tension).
Le montant de l'impôt sur les sociétés est calculé à partir du montant de la dette.: ancienne norme américaine remplacée par l'ISO 14644.
Caractéristiques essentielles de la conception des salles blanches
1Contrôle du débit d'air
Flux unidirectionnel (laminé): Flux d'air vertical/horizontal pour éliminer les particules.
Systèmes de recirculation: réutilisation de l'air à plus de 90% avec filtration HEPA.
2Protocoles matériels et de personnel
Exigences en matière de robes:
Classe 1 à 3: combinaisons de lapin avec masque.
Classe 5-6: couverture limitée (capuchons, gants).
Restrictions matérielles: Métaux/plastiques non coulissants (p. ex. acier inoxydable, PTFE).
3- Vibration et atténuation des EMI
Stabilité du plancher: plaques isolées (1-2 μm limites de vibration parLe nombre d'émissions de CO2 est déterminé par la méthode suivante:) et
Équipement de protection contre les courants de change: empêche les interférences avec les instruments de mesure sensibles.
Pourquoi les salles blanches sont importantes dans la fabrication de semi-conducteurs
Prévention des défauts
Une seule particule de 20 μm peut détruire un transistor de 5 nm.
Perte de rendement(jusqu'à 50% dans des environnements non contrôlés).
Contamination croisée(par exemple, dopage du cuivre dans le silicium).
Efficacité en termes de coûts
Réduction des temps d'arrêt: Moins de contaminants signifie moins de retraitement des plaquettes.
Conformité réglementaireIl rencontre:Pour les appareils électroniquespour l'électronique durable.
Conclusion
Les salles blanches de semi-conducteurs sont des environnements de précision essentiels à la production de puces fiables.ISO, SEMI et IESTIls permettent la fabrication à l'échelle nanométrique avec un minimum de défauts.La technologie des salles blanches continue d'évoluer avec la surveillance des particules basée sur l'IA et les salles blanches modulaires qui gagnent du terrain.
Pour les fabricants, l'investissement dans des salles blanches certifiées n'est pas facultatif; c'est l'épine dorsale de l'innovation en matière de semi-conducteurs.