Dernière affaire de l'entreprise Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Certifications

A salle blanche pour semi-conducteurs est un environnement hautement contrôlé conçu pour minimiser la contamination lors de la fabrication de micropuces, de circuits intégrés (CI) et d'autres composants électroniques. Parce que même des particules microscopiques peuvent provoquer des défauts ou une perte de rendement, les salles blanches sont indispensables pour la fabrication de semi-conducteurs de haute précision.

• Très faible concentration de particules (ISO Classe 1–9)

• Contrôle précis de la température et de l'humidité (jusqu'à ±0,1 °C)

• Systèmes de filtration d'air avancés (filtres HEPA et ULPA)

• Protection contre les décharges électrostatiques (ESD)

Ces installations sont conformes aux normes internationales telles que ISO 14644-1 pour la classification des salles blanches et SEMI S2 / SEMI S8 pour la sécurité et l'ergonomie des équipements.

La fabrication de semi-conducteurs nécessite généralement des environnements ISO Classe 1–5, selon la sensibilité du processus :

• Normes SEMI : Définissent la compatibilité des équipements et la fiabilité opérationnelle (par exemple, SEMI F47 pour l'immunité aux baisses de tension).

• Federal Standard 209E (Hérité) : Ancienne norme américaine pour les salles blanches, désormais remplacée par la norme ISO 14644.

• Flux d'air unidirectionnel (laminaire) : Modèles de flux d'air verticaux ou horizontaux qui balayent en permanence les particules hors des zones de processus critiques.

• Systèmes de recirculation à haut rendement : Réutilisent généralement plus de 90 % de l'air grâce à une filtration HEPA/ULPA à plusieurs niveaux.

Exigences en matière de tenue vestimentaire

• ISO Classe 1–3 : Combinaisons complètes avec masques faciaux, lunettes et gants

• ISO Classe 5–6 : Tenue partielle, comme des cagoules et des gants

Restrictions matérielles

• Utilisation de matériaux non pelucheux et à faible dégagement gazeux tels que l'acier inoxydable, l'aluminium anodisé et le PTFE

• Éviter les plastiques ou les tissus générant des particules

• Stabilité du sol : Construction de dalles isolées avec des limites de vibration aussi basses que 1–2 µm, selon IEST-RP-CC012

• Blindage contre les interférences électromagnétiques (EMI) : Protège les outils de lithographie et de métrologie sensibles du bruit électrique externe

Une seule particule de 20 µm peut détruire une structure de transistor de 5 nm. Les salles blanches réduisent considérablement :

• La perte de rendement (qui peut dépasser 50 % dans des environnements non contrôlés)

• Les risques de contamination croisée, tels que la diffusion involontaire d'ions métalliques

• Réduction des temps d'arrêt : Des environnements plus propres entraînent moins de défauts de plaquettes et de cycles de reprise

• Conformité réglementaire : Prend en charge les normes telles que IEEE 1680 pour une fabrication électronique durable et responsable

Les salles blanches pour semi-conducteurs sont des environnements de précision qui constituent l'épine dorsale de la fabrication moderne de puces. En adhérant strictement aux normes ISO, SEMI et IEST, les salles blanches permettent une fabrication à l'échelle nanométrique avec un minimum de défauts et un rendement maximal.

À mesure que les géométries des semi-conducteurs continuent de rétrécir, les technologies de salles blanches évoluent rapidement—intégrant la surveillance des particules basée sur l'IA, des contrôles environnementaux intelligents et des systèmes de salles blanches modulaires.

Pour les fabricants de semi-conducteurs, investir dans l'ingénierie de salles blanches certifiées n'est pas facultatif—il est essentiel pour maintenir l'innovation, la qualité et la compétitivité mondiale.