Solutions pour salles blanches dans l'industrie des semi-conducteurs et de l'électronique

Exigences et normes uniques​

• Exigences de propreté extrême: Dominé par les grades ISO 5-7 (Classe 100-10 000), avec des zones d'emballage avancées nécessitant l'ISO 4 (Classe 10) pour contrôler les particules ≥0,1μm.​

• Contrôle multidimensionnel: Gérer simultanément la température (20-24℃±0,1℃), l'humidité (40-50%±2%), les vibrations (≤50μm/s) et l'électricité statique (≤100V).​

• Normes internationales: Doit être conforme aux normes SEMI S2, ISO 14644 et BPF pour l'électronique, avec des exigences strictes d'isolement des processus entre les différentes étapes de production.​

Solutions principales​

Système de purification de l'air​

• Hiérarchie de filtration: Pré-filtre (G4) + filtre à moyenne efficacité (F9) + filtre à haute efficacité intermédiaire (H13) + filtre ULPA terminal (efficacité de 99,999 % pour les particules ≥0,12μm).​

• Conception du flux d'air: Flux unidirectionnel à couverture complète (0,45 m/s±20 %) dans les zones principales, avec des taux de renouvellement d'air allant jusqu'à 500 fois/heure.​

• Contrôle de la pression: Différence de pression en gradient (≥5Pa entre les zones adjacentes) pour éviter la contamination croisée.​

Mesures de contrôle de la contamination​

• Gestion des matériaux: Sas pour les matériaux entrants, procédures de déballage et de nettoyage dédiées et eau ultra-pure (18,2 MΩ·cm) avec COT ≤10ppb.​

• Traitement de surface: Parois en acier inoxydable soudé (304/316L), planchers en PVC sans soudure et mastics sans silicone.​

• Contrôle chimique: Systèmes d'extraction locaux pour les processus de gravure, avec une efficacité d'élimination des gaz acides ≥99 %.​

Stratégies d'exploitation allégées​

• Surveillance intelligente: Compteurs de particules en temps réel, capteurs de température/humidité et systèmes de contrôle centralisés basés sur l'IoT.​

• Optimisation énergétique: Unités de récupération de chaleur (économie d'énergie ≥30 %), ventilateurs à fréquence variable et éclairage de salle blanche à LED.​

• Protocoles de maintenance: Tests d'intégrité des filtres HEPA/ULPA trimestriels, vérification mensuelle de la vitesse du flux d'air et validation annuelle des performances complètes.​

Tendances futures​

• Miniaturisation: Développement vers des salles blanches ISO 3 (Classe 1) pour s'adapter aux nœuds de processus de 3 nm et moins.​

• Innovation verte: Adoption de matériaux à faibles COV et intégration des énergies renouvelables.​

• Transformation numérique: Maintenance prédictive basée sur l'IA et jumeaux numériques pour la mise en service virtuelle.​

Les salles blanches pour semi-conducteurs nécessitent un équilibre entre une propreté extrême, une stabilité des processus et une efficacité opérationnelle. En intégrant une technologie de filtration avancée, un contrôle environnemental précis et des systèmes de gestion intelligents, ces installations critiques soutiennent la production de composants électroniques haute performance.