Solutions pour salles blanches dans l'industrie des semi-conducteurs et de l'électronique

• Exigences extrêmes de propreté: dominé par les niveaux ISO 5-7 (classe 100-10.000), avec des zones d'emballage avancées nécessitant ISO 4 (classe 10) pour contrôler les particules ≥ 0,1 μm.
• Contrôle multidimensionnel: gérer simultanément la température (20-24°C±0,1°C), l'humidité (40-50%±2%), les vibrations (≤50μm/s) et l'électricité statique (≤100V).
• Normes internationales: doit être conforme à la norme SEMI S2, à l'ISO 14644 et aux BPF pour l'électronique, avec des exigences strictes en matière d'isolement des procédés entre les différentes étapes de production.

• Hiérarchie de filtration: Préfiltre (G4) + filtre à efficacité moyenne (F9) + filtre à efficacité inférieure à élevée (H13) + filtre ULPA terminal (efficacité 99,999% pour les particules ≥ 0,12 μm).
• Conception du débit d'air: couverture complète de débit unidirectionnel (0,45 m/s ± 20%) dans les zones centrales, avec des taux de changement d'air allant jusqu'à 500 fois/heure.
• Régulation de la pression: différence de pression du gradient (≥ 5 Pa entre les zones adjacentes) pour éviter la contamination croisée.

• Gestion des matériaux: Écluse pour les matériaux entrants, procédures dédiées de déballage et de nettoyage, et eau ultra-pure (18,2 MΩ·cm) avec TOC ≤ 10 pppb.
• Traitement de surface: Murs soudés en acier inoxydable (304/316L), planchers en PVC sans couture et étanches sans silicone.
• Contrôle chimique: Systèmes d'échappement locaux pour les procédés de gravure, avec une efficacité d'élimination des gaz acides ≥ 99%.

• Surveillance intelligente: compteurs de particules en temps réel, capteurs de température/humidité et systèmes de contrôle centralisés basés sur l'IoT.
• Optimisation de l'énergie: unités de récupération de chaleur (économie d'énergie ≥ 30%), ventilateurs à fréquence variable et éclairage LED pour les salles blanches.
• Protocoles de maintenance: Test trimestriel de l'intégrité des filtres HEPA/ULPA, vérification mensuelle de la vitesse du débit d'air et validation annuelle complète des performances.

• Miniaturisation: Développement vers des salles blanches ISO 3 (classe 1) pour s'adapter aux nœuds de processus de 3 nm et plus petits.
• L'innovation verte: Adoption de matériaux à faible COV et intégration des énergies renouvelables.
• Transformation numérique: Maintenance prédictive basée sur l'IA et jumeaux numériques pour une mise en service virtuelle.

Les salles blanches de semi-conducteurs nécessitent un équilibre entre extrême propreté, stabilité de processus et efficacité opérationnelle.et des systèmes de gestion intelligents, ces installations essentielles permettent la production de composants électroniques de haute performance.